權利要求書： 1.一種LED-MOCD制程廢氣全溫程變壓吸附提氫再利用的方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)原料氣，即常壓或低壓的MOCD制備基于氮化鎵外延片生長的發光二極管制程中的廢氣，其主要組成為氮氣、氫氣、氨氣，以及及少量的金屬離子、顆粒、砷烷、甲烷、水、一氧化碳、二氧化碳、氧氣，以及其它雜質組分，壓力為常壓或低壓，溫度為20～120℃；
(2)預處理，原料氣經鼓風機送入由原料氣緩沖罐、除塵器、除顆粒過濾器、除油霧捕集器、冷卻器、氨吸收塔、氨水儲罐、冷熱量交換器組成的預處理單元，在常壓或小于0.3MPa壓力、20～120℃溫度的操作條件下，原料氣經緩沖罐流出，先后經過脫除塵埃、顆粒、油霧、其它可溶性于水的雜質組分以及大部分氨氣，在0.2～0.3MPa壓力、20～120℃溫度的條件下，進入下一個工序，即精脫氨工序；
(3)精脫氨，將來自預處理工序的原料氣，經壓縮至1.0～4.0MPa，進入由水洗塔與變溫吸附塔組成的精脫氨工序，經過水洗、變溫吸附進一步脫除氨與其它水溶性或極性較強的微量雜質后，形成低沸點混合組分的中間氣體，在1.0～4.0MPa壓力、20～120℃溫度的條件下，進入下一個工序，即，脫氧工序；其中，變溫吸附塔再生載氣是來自后續工序，深度脫水的部分解吸氣，經再生后形成的再生氣體，與來自預處理工序的原料氣混合，進入精脫氨工序進一步回收再生氣體中所含的有效組分氫氣；
(4)脫氧，來自精脫氨工序的低沸點混合組分的中間氣體，在1.0～4.0MPa壓力、20～
120℃溫度的條件下進入負載有金屬活性組分的催化劑的脫氧器，進行深度脫氧后，進入下一個工序，即變壓吸附提氫工序；
(5)變壓吸附提氫，來自經脫氧后的低沸點混合組分的中間氣體，進入至少由4塔組成的多塔變壓吸附提純氫氣工序，吸附塔的操作壓力為1.0～4.0MPa，操作溫度為20～120℃，至少一個吸附塔處于吸附步驟，其余吸附塔處于解吸再生步驟，所形成的非吸附相氣體為超高純氫氣，其純度為99.999～99.9999％(v/v)，進入下一工序，即深度脫水工序；變壓吸附提氫工序的吸附劑采用活性氧化鋁、硅膠、活性炭、分子篩的一種或多種組合；解吸時，采用至多3次的緩均方式進行均壓，并采用沖洗或沖洗加抽真空方式，所形成的解吸氣，一部分直接排放，符合國家
聲明：
“LED-MOCVD制程廢氣全溫程變壓吸附提氫再利用的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：浙江天采云集科技股份有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
