1.本發明涉及單晶制造技術領域，特別是涉及一種硅料的處理裝置和硅料的處理方法。
背景技術：
2.近年來，光伏發電作為綠色能源以及人類可持續發展的主要能源的一種，日益受到世界各國的重視并得到大力發展。單晶硅片作為光伏發電的一種基礎材料，有著廣泛的市場需求。單晶硅片通常是由硅棒進行切片處理得到的，而硅棒通?？梢杂晒枇仙L得到。
3.實際應用中，硅料通?？梢允窃嗑Ч杌蛘邚屠系?，現有技術中，為了降低環保壓力，在使用硅料拉制硅棒之前，通常先使用酸性溶液或者堿性溶液等試劑對硅料進行清洗，以去除硅料中混合的金屬以及金屬化合物等雜質。
4.然而，使用酸性溶液或者堿性溶液等化學試劑清洗硅料時，酸性溶液或者堿性溶液等化學試劑的用量較大，容易造成硅料的清洗成本較高，環保壓力較大；而且，清洗后的硅料產出的硅棒品質仍難滿足日益提升的硅棒高品質(成晶率/轉換效率)要求。
技術實現要素：
5.鑒于上述問題，提出了本發明實施例以便提供一種克服上述問題或者至少部分地解決上述問題的一種硅料的處理裝置和硅料的處理方法。
6.為了解決上述問題，第一方面，本發明實施例公開了一種硅料的處理裝置，包括：用于帶動硅料沿預設傳送路徑運動的運輸機構，以及，沿所述預設傳送路徑依次設置的處理腔和清洗機構，其中，
7.所述處理腔內設有加熱機構，所述加熱機構用于調節所述處理腔內的溫度，所述處理腔內還設有用于輸入反應氣體的進氣口，所述反應氣體至少包括含鹵氣體；
8.在所述加熱機構將所述處理腔內的溫度調節至第一預設溫度的情況下，所述進氣口可向所述處理腔通入所述反應氣體，以使所述反應氣體中的所述含鹵氣體與所述硅料中的金屬雜質反應，所述清洗機構用于清洗反應后的所述硅料。
9.可選地，所述處理腔沿所述預設傳送路徑依次設有用于穿設所述運輸機構的第一進口和第一出口；
10.所述處理腔還設有用于密封所述第一進口的第一閘門和用于密封所述第一出口的第二閘門。
11.可選地，所述清洗機構包括至少兩個用于向所述硅料噴淋清洗液的噴淋機構，以及與所述噴淋機構對應設置的至少兩個清洗槽；
12.所述至少兩個噴淋機構沿所述預設傳送路徑依次設置，一個所述清洗槽對應設于一個所述噴淋機構的下方，所述清洗槽用于回收對應的所述噴淋機構向所述硅料噴淋的清洗液。
13.可選地，所述清洗液包括：乳酸、氫氟酸和硝酸中的至少一種。
14.可選
聲明：
“硅料的處理裝置和硅料的處理方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：隆基綠能科技股份有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
