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集成溫度傳感器的微流道散熱器

788   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:20:07
本發明屬于一種微流道器件,具體涉及一種集成溫度傳感器的微流道散熱器。包括微流道盒體、鍵合層、微流道蓋體、冷卻液入口、冷卻液出口、微流道溝槽和溫度傳感器。本發明實現溫度傳感器在微流道散熱器內部一體化集成,集成的溫度傳感器位置布放靈活,實現多點位、高空間分辨率的實時監測,以提高微流道散熱器可靠性,進而優化設計散熱器;與外接溫度傳感器相比,該方案獲得的溫度受環境影響小,結果更能精準的反映流道內部狀況,提高了微流道散熱器整體可靠性。還采用鍵合層隔開冷卻液與溫度傳感器的直接接觸,使得溫度傳感器不會被冷卻液直接接觸影響,導致溫度傳感器的穩定性和精確性降低,甚至于溫度傳感器短路失效。
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