本實用新型涉及一種氣路過載保護裝置,在腔體的預設軸線上,在腔體內設置氣路通道;在腔體內部;在氣路通道的預設截面上設置氣路過載保護機構;氣路過載保護機構用于堵住在氣路通道的氣體的傳輸方向。采用了在腔體的預設軸線上,在腔體內設置氣路通道;在腔體內部;在氣路通道的預設截面上設置氣路過載保護機構;用于堵住在所述氣路通道的氣體的傳輸方向;解決了現有技術中,常因為所流入的氣體流量及壓力過大而破壞儀器的探測器;也解決了現有技術中,在氣路系統中會增加減壓閥及質量流量控制器以控制所流入的氣體流量及壓力時,在系統壓力超過安全壓力時突然失效,從而導致氣流及壓力增大損害儀器的探測器的技術問題。
聲明:
“氣路過載保護裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)