本發明公開了一種基于微流道的鎢錸薄膜溫度傳感器冷端補償結構,包括熱電偶和冷端溫度補償模塊;熱電偶包括設有熱電偶冷端微流道的基底;冷端微流道采用針翅式微流道結構;冷端溫度補償模塊包括補償導線、第一放大器、第二放大器、冷端溫度傳感器、微控制器和顯示模塊;微控制器對來自熱電偶的電壓和冷端溫度傳感器所輸入的電壓進行綜合處理,轉換成溫度信號通過顯示模塊實時顯示所測溫度。本發明將微流道應用于熱電偶基底的冷端部位上并與冷端溫度補償模塊相結合,解決了補償導線與鎢錸薄膜熱電偶連線的高溫失效問題,對熱電偶的冷端溫度進行補償,提高了所測溫度信號的精度和可靠性,實現精確可靠的高溫測量。
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