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敏感膜、MEMS麥克風及其制作方法

1139   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:02:36
本發明公開一種敏感膜、MEMS麥克風及其制作方法，該敏感膜包括感測部，用于感測振動信號；連接部，所述連接部環繞所述感測部設置，并用于固定所述感測部；動作部，所述動作部連接所述感測部和所述連接部，所述動作部的剛度小于所述感測部的剛度和/或所述連接部的剛度；以及補強部，所述補強部設于所述動作部。本發明技術方案旨在提高敏感膜的結構強度，降低敏感膜破裂失效的概率。
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聲明：
“敏感膜、MEMS麥克風及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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