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基于支持向量機監控在線缺陷的方法

798   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:10
本發明提供一種基于支持向量機監控在線缺陷的方法，收集已出貨的晶圓在過去一個生產周期內的缺陷數據和產品質量數據的樣本，并定義產品質量為異常的范圍；在樣本中選擇良率測試站點加掃數量多的晶圓的數據，并去除缺陷數量或產品質量失效率異常大的數據，得到優化后的樣本；從優化后的樣本中隨機選擇出80％的數據，利用支持向量機進行樣本訓練并建立模型；對模型進行優化，提高模型的檢出率；根據優化后的模型對在線產品的缺陷數據和產品質量數據進行預測和分類，將異常產品刷選出來。本發明可以提前將良率不過關的產品刷選出來，節約后續的生產、測試成本。
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聲明：
“基于支持向量機監控在線缺陷的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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