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定點平面TEM樣品制備方法

838   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:54
本發明公開了一種定點平面TEM樣品制備方法，包括：步驟1：對TEM樣品的目標進行定位；步驟2：研磨所述TEM樣品，使所述TEM樣品的邊緣距離目標5～15um；步驟3：切割上述TEM樣品的截面；步驟4：將上述TEM樣品放入聚焦離子束中進行平面制樣。本發明通過結合研磨、截面切割、FIB平面制樣的方法，大大提高了TEM定點平面制備的成功率，同時也極大地提高了平面TEM樣品的質量，對失效分析、結構分析等提供了極大的幫助。
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聲明：
“定點平面TEM樣品制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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