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獲取高清晰聚焦離子束加工截面圖像的方法

998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:54
本發明提供了一種獲取高清晰聚焦離子束加工截面圖像的方法,該方法包括以下步驟:A、將需要進行分析的樣品置于聚焦離子束儀中進行截面切拋加工,得到樣品截面;B、將樣品從聚焦離子束儀中取出,使用腐蝕液對樣品進行截面腐蝕;C、將樣品截面進行沖洗和吹干;D、將樣品放入場發射電子顯微鏡中,找到截面后傾斜30°～45°,進行截面的二次電子像觀察,獲得高清晰的聚焦離子束截面樣品圖像。本發明有如下優點:本發明方法能夠有效、高質量地獲得高清晰的聚焦離子束截面樣品圖像,為失效分析提供結構截面分界清楚的截面形貌信息。
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“獲取高清晰聚焦離子束加工截面圖像的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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失效分析
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