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加速度傳感器及其制作方法

809   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:50
本發明公開了一種加速度傳感器及其制作方法，所述方法包括：在襯底中形成空腔和位于所述空腔上方的與襯底絕緣并依次相互絕緣連接的第一懸空薄膜、第二懸空薄膜和第三懸空薄膜；在所述第一懸空薄膜上形成與之電連接的第一電極，在所述第二懸空薄膜上形成與之電連接的第二電極，在所述第三懸空薄膜上形成與之電連接的第三電極，以及在襯底上方形成與之電連接的第四電極；形成扭轉梁結構，所述第一懸空薄膜、第二懸空薄膜和第三懸空薄膜通過所述扭轉梁結構與所述襯底連接，且所述第一懸空薄膜和第二懸空薄膜沿所述扭轉梁結構對稱；所述第一懸空薄膜和第二懸空薄膜與所述襯底形成差分電容式檢測結構；所述第三懸空薄膜與所述襯底構成晶圓級檢測電容結構,實現了晶圓級自檢測功能，避免采用離心機測試，降低了由于加速度傳感器失效造成的成本損失。
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