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用于金屬阻擋層的刻蝕溶液及方法

863   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:41
本發明涉及一種用于金屬阻擋層的刻蝕溶液及方法。所述刻蝕溶液由硝酸、氫氟酸和水配制而成，所述硝酸、氫氟酸和水的體積比為硝酸：氫氟酸：水＝0.5～1.5：1：0.5～2，所述硝酸的質量濃度為65%～70%，所述氫氟酸的質量濃度為45%～49%。本發明采用了新配方的刻蝕溶液，可以選擇性地去除晶圓的鉭、氮化鉭、鈦或氮化鈦的金屬阻擋層，然后采用機械研磨的方法，即可去除氧化層，得到均勻的下層金屬層，提高了晶圓的平整性，滿足晶圓不同層次精細分析的需要，提高了失效分析的能力和效率。
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