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平面TEM樣品的制備方法

760   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:38
本發明提出一種平面TEM樣品的制備方法，包含制備樣品，使樣品的斷面的截面到達目標區域附近，切割樣品到露出Poly層，濕法腐蝕，去除Poly，制備第一切割面，切割樣品，在襯底內部制備第二切割面，最后完成平面TEM樣品。本發明為制備觀測多晶Poly下方的柵氧化層缺陷和硅襯底位錯的TEM分析提出了一種基于現有技術的新方法，通過腐蝕Poly即可以去除Poly晶格對TEM觀測的影響，又可以利用腐蝕劑對襯底的腐蝕準確定位柵氧化層中的缺陷。采用本發明方法能提高該類失效分析的質量和成功率。
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聲明：
“平面TEM樣品的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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