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基于空間聚類的wafer bin合并方法

1190   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:37
本發明公開了一種基于空間聚類的wafer bin合并方法，涉及半導體制造業技術領域。通過空間聚類的方式，將構成同一失效模式的不同bin自動的進行合并，與此同時，具有混合失效模式的wafer bin map也能被分解為多個單一的失效模式，本發明相較于傳統的人工視檢減少了主觀判定，解決了按單bin分析時失效模式不完整的問題，為后續的良率根因中的共性分析提供了堅實的數據基礎。
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