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基于等效電路的晶體管可靠性表征方法

1115   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:37
本發明提供一種基于等效電路的晶體管可靠性表征方法，包括以下步驟：S1、根據晶體管類型確定晶體管的等效電路；S2、確定用于壽命加速試驗的應力的類型和大小，并確定等效電路中的敏感參數退化模型；S3、對晶體管進行壽命加速測試；S4、定時采集晶體管的測試數據，提取等效電路敏感參數，得到等效電路敏感參數隨應力和時間的變化關系；S5、對所述敏感參數退化模型中的待定常數進行擬合，得到完整敏感參數退化模型和完整等效電路；S6、對晶體管進行失效機制分析和可靠性分析。本發明可用于模擬器件失效機制對電路性能的影響，可以分析晶體管的失效機制，指導工藝改進，還可以預測晶體管的性能退化量和失效時間，縮短可靠性試驗時間。
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