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超薄平面透射電鏡樣品的制備方法

1208   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:37
本發明涉及一種超薄平面透射電鏡樣品的制備方法。包括以下步驟：提供具有待觀測的失效分析點的芯片；對芯片進行截取得到TEM樣品；在TEM樣品上靠近失效分析點處形成停止標記，并研磨TEM樣品的橫截面至停止標記；在TEM樣品橫截面的失效分析點上鍍Pt保護層；在第二薄膜層上靠近失效分析點處挖凹坑，并減薄第二薄膜層；將TEM樣品放置在沸騰的膽堿配比溶液中反應；采用聚焦離子束對TEM樣品進行切斷，得到目標層樣品。本發明的一種超薄平面透射電鏡樣品的制備方法，既可以準確定位樣品，又可以得到厚度在十幾個納米的TEM目標層樣品，避免了平面透射電鏡受到前層多晶硅或者后層多晶硅對待觀察區域的干擾，大大提高了失效分析中判斷定位的準確性。
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