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半導體設備機臺氣缸的升降偵測系統

766   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:33
本實用新型公開了一種半導體設備機臺氣缸的升降偵測系統，半導體設備機臺內設有氣缸，氣缸包括缸體和活塞桿，系統包括：感應單元，包括感應片、感應器、安裝支架和位置調節機構，感應片固定在活塞桿的頂部側壁上，感應器安裝在安裝支架上，安裝支架經位置調節機構與缸體的頂部端面相連接；報警單元，安裝在半導體設備機臺上；控制器，分別與氣缸和感應器相連接，控制器還經常閉繼電器與報警單元相連接。本實用新型能準確高效地偵測氣缸的實際動作的作用；并且，避免了感應器存在故障或一直保持同一狀態導致的失效風險；同時，當偵測系統斷電或者程序故障，常閉繼電器會斷開，使報警單元立刻發出警報，從而有效地提高了保護效果。
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