柔性基底薄膜剪切載荷的力學(xué)性能原位測試輔助裝置

本發(fā)明涉及材料測試技術(shù)，尤其涉及一種柔性基底薄膜剪切載荷的力學(xué)性能原位測試輔助裝置，包括有框架結構的機架、安裝在機架上的加載機構和精密測量單元。本發(fā)明通過(guò)兩套相反運動(dòng)的絲桿傳動(dòng)組件，給薄膜試件加載剪切力，原子力顯微鏡直接觀(guān)測剪切力下薄膜的微觀(guān)結構變化，從而得到樣品的宏觀(guān)力學(xué)性能。本發(fā)明可復現薄膜材料受剪切載荷的工況，原位測量整個(gè)過(guò)程中的形變學(xué)、變形機制和力學(xué)性能，是研究新型薄膜材料在此工況下的彈性模量、內應力和膜基結合能、失效參數的有力試驗工具。