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芯片制造BEOL互連層界面可靠性測試簡化結構和工藝

875   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:23
本發明公開了一種芯片制造BEOL互連層界面可靠性測試簡化結構和工藝。該簡化結構包括基板、銅凸點、BEOL金屬互連層、芯片、預制裂紋和納米探針。該測試工藝主要是對服役溫度測試下的簡化結構，將加載方式簡化為納米探針剪切銅凸點，以達到測試簡化結構的互連強度。本發明解決了現有技術中難以測試納米級別互連結構中的凸點和BEOL金屬互連層界面之間的強度，無法建立壽命失效準則、壽命預測和可靠性問題；能夠有效地提高對微電子產品進行可靠性測試的效率，簡化工作流程。
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聲明：
“芯片制造BEOL互連層界面可靠性測試簡化結構和工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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