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制程機臺監控的離線量測的方法與系統

999   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:21
本發明提供一種制程機臺監控的離線量測的方法與系統。提供一自我調整監控規則數據庫,用以儲存用于執行晶圓批量處理的預定監控規則。定義用于執行該晶圓批量處理的監控數據,根據選取自該自我調整監控規則數據庫中的監控規則取得所欲監控數據,根據該監控數據并利用一制程機臺執行一離線量測操作以產生監控結果,并且根據該監控結果比較該選取的監控規則與數據以判斷是否發生異常狀態。若否,則利用該制程機臺執行晶圓批量處理。若是,則結束該制程機臺的晶圓批量處理。接著反饋一失效通知,并且重新定義監控規則以更新該自我調整監控規則數據庫。本發明可改善晶圓批量處理的效率與流程,減少生產損失。
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