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新的芯片測試結構

1088   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:21
本發明公開了一種晶圓可接受性測試的方法，述方法包括：在所述第一梳狀金屬線上施加高電壓，同時在所述第二梳狀金屬線上施加中電壓，并保持全部的所述多晶硅接地；若測得所述多晶硅的電流超出規格，則表明是所述接觸孔和所述多晶硅之間存在泄漏；若測得所述多晶硅的電流未超出規格，則表明是金屬線間失效或者是層間介電質孔洞失效；通過本發明的使用，可以在幫助生產線在第一時間發現層間介電質孔洞、接觸孔和多晶硅之間的孔洞等工藝缺陷，及時做出調整；并且由于本發明可同時監控多個工藝問題，大大減小了測試結構面積，降低了包含測試在內的生產成本。
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聲明：
“新的芯片測試結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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失效分析
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