本發明涉及一種晶圓測試參數設置方法,不需要人工設置探針臺配置文件。同一產品,得到客戶提供的批號、片號、相應目標坐標信息和管芯參數要求后,探針臺取得當前機臺內的晶圓相應批號、片號和坐標信息,測試機按照輸入信息參照目標坐標進行相應管芯的自動測試掃描,并對失效管芯進行周圍位置管芯補測,自動測試的同時對失效進行驗證和數據補充。保證測試數據的正確性,測試靈活并且適應各種客戶要求,避免人工設定造成的誤操作,有效地提高測試效率和質量。
聲明:
“晶圓測試參數設置方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)