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晶圓測試中動態修改參數達到提高良率的方法

1166   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:19
本發明公開了一種晶圓測試中動態修改參數達到提高良率的方法，包括如下步驟：以若干顆的DIE的數據為樣本；在ATE中進行相關設置；進行DIE樣本的測試；判斷測試結果；S20中的包括設置DIE測試fail時的BIN號以及設置需要修改的測試參數初始值，S50中的具體的判定方式為：若設置DIE在fail時的BIN號的失效率滿足要求，則不需要進行參數的更改，整個測試結束；若設置DIE在fail時的BIN號的失效率不滿足要求，則更改參數并重新返回執行S30?S50的步驟，直到測試結果符合，整個測試結束，通過動態的修改參數以達到提高良率的方法，降低了對專業技術人員的依賴性，減少了不必要的人力成本和物力成本，極大的提高了產能、節省了時間。
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“晶圓測試中動態修改參數達到提高良率的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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