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用于經時擊穿測試的探針卡及經時擊穿測試方法

1141   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:14
本發明涉及芯片測試領域，提供一種用于經時擊穿測試的探針卡以及經時擊穿測試方法。所述用于經時擊穿測試的探針卡包括：印制電路板以及設置于所述印制電路板的探針，所述印制電路板設有用于輸入經時擊穿測試信號的輸入端，還包括限流元件，所述探針的第一端通過所述限流元件連接所述印制電路板的輸入端，所述探針的第二端用于輸出所述經時擊穿測試信號。本發明通過限流元件吸收器件柵氧化層被擊穿時的瞬間大電流，防止器件內部的其它結構被損壞(擊穿)，這種情況下器件處于早期損壞，容易確定早期損壞故障點的位置，有助于確定可靠性失效的根本原因。
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聲明：
“用于經時擊穿測試的探針卡及經時擊穿測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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