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測試半導體結構擊穿的設備、系統和方法

854   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:13
本申請提供了一種測試半導體結構擊穿的設備、系統和方法，該設備包括：第一支路和第二支路，第一支路的阻抗大于第二支路的阻抗，第一支路的第一端用于連接半導體結構的第二端，第一支路的第二端接地，第二支路的第一端用于連接電壓源，第二支路的第二端接地，測試半導體結構的擊穿時，半導體結構的第一端連接電壓源，第二支路斷開，第一支路導通以使半導體結構被電壓源擊穿進行擊穿測試，半導體結構被擊穿后，第二支路導通，第一支路斷開。從而可以在半導體結構被擊穿后，減輕對擊穿后的半導體結構的進一步損傷，方便研究人員后期對擊穿失效位置的第一現場進行物理失效分析。
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聲明：
“測試半導體結構擊穿的設備、系統和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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標簽：
失效分析
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