本申請提供了一種電遷移測試結構、半導體結構及三維存儲器。其中,電遷移測試結構包括測試線和襯底。測試線連接有陽極引線和陰極引線;襯底與陰極引線連接,襯底配置為通過陰極引線接收測試線中的靜電荷。本申請通過將陰極引線接入襯底,從而使襯底能夠通過陰極引線接收測試線中的靜電荷,因此,在測試過程中以及在后續失效分析過程中即使引入了靜電,這部分靜電也可通過陰極引線導出至襯底中,以此減小測試和失效分析過程中測試線發生爆燃的可能性。
聲明:
“電遷移測試結構、半導體結構及三維存儲器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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