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異常溫度測試數據的確定方法、裝置及電子設備

786   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:11
本申請公開了一種異常溫度測試數據的確定方法、裝置及電子設備，屬于半導體生產檢測技術領域，其中，異常溫度測試數據的確定方法包括：獲取晶圓連續測試過程中的夾具溫度數據；根據所述夾具溫度數據計算相鄰兩次測試的夾具溫度變化值；基于所述溫度變化值確定異常溫度測試數據。該方法可以準確地確定異常的夾具溫度測試數據，進而可以剔除溫度異常的測試項使得晶圓的壽命失效率分析更加準確。
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