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檢測裝置的制作方法

955   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:07
本發明涉及一種檢測裝置的制作方法，屬于微型電子器件技術領域。該制作方法包括：一待測試金屬結構部件，在所述待測試金屬結構部件上設置聲阻擋層；在所述聲阻擋層上設置聲表面波傳感器，其中，在對所述待測試金屬結構部件進行測試時，所述聲阻擋層使所述聲表面波傳感器產生的聲表面波作用于所述待測試金屬結構部件的表面。該制作方法將聲表面波傳感器與待測試的金屬結構件集成在一起，解決了采用粘結劑可能會發生開裂、崩落等現象，導致聲表面波傳感器的失效、損壞甚至脫落的技術問題，同時，通過聲阻擋層使聲表面波傳感器產生的聲表面波作用于待測試金屬結構部件的表面，使得傳感器具有更高的品質因數、諧振性能和測試靈敏度。
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聲明：
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