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防止靜電吸合的微機械檢測結構

1079   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:03
本發明提供了一種防止靜電吸合的微機械檢測結構，屬于微機電系統技術領域，包括固定錨點及連接于固定錨點的固定梳齒、活動質量塊以及連接于活動質量塊的活動梳齒；活動梳齒與固定梳齒相互交叉，當敏感信號輸入時，活動質量塊偏移平衡位置，活動梳齒與固定梳齒之間形成電容差。其中，固定梳齒或/和活動梳齒上設有梳齒防靜電吸合結構，以限制活動梳齒的偏移量，避免梳齒間靜電吸合失效。本發明提供的防止靜電吸合的微機械檢測結構，能夠有效的防止由于過載信號導致的靜電力吸合失效，具有結構形式簡單，加工方便等優點，可以顯著提高MEMS慣性傳感器的可靠性。
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“防止靜電吸合的微機械檢測結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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