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檢測鎳鉑去除裝置的方法

1302   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:01
本發明公開了一種檢測鎳鉑去除裝置的方法,該方法包括:A、提供一表面形成氮化硅SiN的試驗樣品,使用鎳鉑去除裝置對該試驗樣品進行鎳鉑去除工藝;B、使用光學測量工具檢測SiN表面的雜質數量,如果雜質數量不符合工藝要求,則執行步驟C;如果雜質數量符合工藝要求,則結束流程;C、對該鎳鉑去除裝置進行清洗,然后執行步驟A。使用表面形成氮化硅SiN的試驗樣品檢測鎳鉑去除裝置的方法,能夠真實反映該鎳鉑去除裝置的潔凈度,因此可以及時對不符合工藝要求的鎳鉑去除裝置加以調整,從源頭避免失效成品的產生,從而節約大量成本和制造時間。
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“檢測鎳鉑去除裝置的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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