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檢測金屬線短路的測試結構

1047   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:01
本實用新型提供一種檢測金屬線短路的測試結構，包括第一梳齒結構、第二梳齒結構以及蛇形結構，所述第一梳齒結構和第二梳齒結構相對交錯設置，所述蛇形結構位于第一梳齒結構和第二梳齒結構之間的間隙之中，測試結構還包括：測試金屬線段，測試金屬線段位于所述第一梳齒結構、第二梳齒結構以及蛇形結構的上方；金屬插塞，所述金屬插塞連接測試金屬線段和第一梳齒結構、連接測試金屬線段和第二梳齒結構以及連接測試金屬線段和蛇形結構。本實用新型的檢測金屬線短路的測試結構能發現頭對頭金屬線層連接缺陷，且在不破壞失效點的情況下能迅速定位，提高了測試效率和晶圓良率，節約人力成本。
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聲明：
“檢測金屬線短路的測試結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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