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基于長短期記憶網絡和滑動窗口的晶圓測試檢測方法

1036   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:01
公開了基于長短期記憶網絡和滑動窗口的晶圓測試檢測方法，方法中，測試頭執行晶圓測試生成測試數據，所述測試數據輸入長短期記憶網絡訓練且生成測試時間序列及其時序特征；基于所述測試時間序列確定窗口長度k以及定義窗口長度k的最近鄰窗口，將測試時間序列輸入訓練后的長短期記憶網絡得到預測值d′n+1，將預測值d′n+1與真實測量值比較得到差值，當差值超過單步閾值a判斷單步失效，增加系統異常評分且將所述預測值d′n+1更新測試時間序列進行下一步檢測，直到所述系統異常評分超過系統異常閾值x時判斷測試環境有誤；發出指令停止測試并報警，并將故障信息通過TCP/IP協議上傳。
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“基于長短期記憶網絡和滑動窗口的晶圓測試檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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