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聚焦離子束分析方法

1020   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:58
本發明提供了一種聚焦離子束分析方法，包括，步驟一：選擇待分析樣品；步驟二：利用離子束刻蝕所述待分析樣品，以獲得切割截面；步驟三：利用電子束照射觀察是否出現電荷沉積效應，當未出現電荷沉積效應時，獲得電子束圖像，當出現電荷沉積效應時，在所述切割截面的側面上形成有機源層之后，重新獲得電子束圖像；步驟四：判斷獲得的電子束圖像是否顯示目標截面，當電子束圖像顯示非目標截面時，重復步驟二至步驟四，直至獲得目標截面；當電子束圖像顯示為目標截面時，導出獲得的電子束圖像，并進行失效分析。本發明所述方法可避免電荷沉積效應對失效分析結果的影響。
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聲明：
“聚焦離子束分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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失效分析
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