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集成電路電子元器件失效溫度篩選裝置及方法

804   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:38
本發明公開了一種集成電路電子元器件失效溫度篩選裝置及方法，其通過設計內熱罩和外熱罩形成內罩區和外罩區，且通過一升降機構帶動內熱罩在外熱罩內做升降運動，實現內罩區與外罩區的連通或密封設置；并通過溫控裝置經第一熱流控溫通道控制內罩區的溫度為測試溫度，通過溫控裝置經第二熱流控溫通道控制外罩區的溫度為下一梯度的測試溫度；且當內熱罩中完成上一個梯度溫度點下的測試數據采集時，通過升降機構控制內熱罩升起，連通內罩區與外罩區，通過熱交換使內招區的溫度迅速調節至與外罩區溫度一致，從而節省待測集成電路電子元器件在失效溫度篩選測試中升降溫和溫度穩定所需要的時間，進而提高集成電路電子元器件的失效溫度篩選測試效率。
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