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基于連續激光源的集成電路失效定位系統及方法

995   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:34
本發明公開了一種基于連續激光源的集成電路失效定位系統及方法，包括：基于紅外激光器照射待測電路樣品，獲取所述待測電路樣品的掃描數據；基于紅外相機對所述待測電路樣品進行拍照，獲取電路布局圖；將所述掃描數據與所述電路布局圖進行對照，獲得失效定位點。本發明解決了集成電路阻性失效的失效點定位問題，實現了集成電路阻性失效和晶體管柵極破損的精確、快速定位。提高了集成電路失效定位的測試效率和定位精度，為集成電路失效分析的研究提供了技術支持。
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