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芯片失效點定位方法、裝置及系統

1211   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:34
本申請涉及一種芯片失效點定位方法、裝置及系統，芯片失效點定位方法包括獲取芯片通電后發射的光信號；對光信號進行分離，輸出多個特定波段的光輻射圖像；將多個特定波段的光輻射圖像與預置良品芯片結構形貌圖比較以確定芯片失效點的波長信息。本申請可以實現對半導體芯片失效點波長的探測分析，在分析過程不會對芯片引入新的失效，提高了對半導體芯片失效分析的效率及準確性，可廣泛適用于芯片設計、生產的測試環節，售后問題反饋等環節。
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失效分析
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