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集成電路中可靠性分析的測試結構及其測試方法

1131   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:34
本發明揭示了一種集成電路中可靠性分析的測試結構，該測試結構包括：待測結構；N個虛擬結構，N個所述虛擬結構與所述待測結構電連接，N為大于0的正整數；包括第一引線結構和第二引線結構的引線結構；和包括第一通孔結構和第二通孔結構的通孔結構。本發明還揭示了該測試結構的測試方法，包括：提供一襯底，根據所述的測試結構在所述襯底上形成實際待測試結構；所述第二引線結構接一第一測試電流，所述第一節點接地，測量第一失效電流。本發明的測試結構，能準確評估焦耳熱效應對器件的影響，從而保證可靠性分析的準確性。
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