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DRAM晶圓測試中精確捕獲失效地址的方法

825   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:34
本發明一種DRAM晶圓測試中精確捕獲失效地址的方法，包括如下步驟，步驟1，針對DRAM晶圓測試流程中的任意功能測試項，給每個功能測試項分配一個變量，變量與功能測試項一一對應；步驟2，根據測試需求，對變量在晶圓測試開始后一次性賦值，控制是否捕獲對應測試項的失效地址；步驟3，在執行功能測試項并通過地址失效寄存器AFM記錄對應的失效地址后，根據當前測試項以及當前測試項的前一個測試項的變量賦值狀況，控制是否讀取地址失效寄存器AFM中的累積失效信息，并生成臨時文件；步驟4，通過對生成的臨時文件之間失效地址信息的比對，剔除掉重復的信息，最終生成當前測試項的失效地址文件。
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