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采用納米壓入測試技術預測薄膜疲勞失效的方法

892   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:33
本發明公開了一種采用納米壓入測試技術預測薄膜疲勞失效的方法，屬于薄膜疲勞失效的預測方法。本發明的薄膜疲勞失效預測方法的具體步驟如下：采用磁控濺射技術制備組織均勻的薄膜；然后將薄膜放在納米壓痕儀上并設定載荷平均值、載荷幅值、加載頻率以進行測試；在測試過程中記錄薄膜的存數剛度隨時間的變化關系；通過分析實驗結果，找出數據中存數剛度變化的轉折點以得出薄膜發生疲勞失效的時間。本發明的薄膜測試中薄膜為鋁、鈦金、鋯、銀、鎳、鉬、硅或鈦鋁薄膜。本發明采用納米壓入測試技術預測薄膜疲勞失效的方法操作簡單，結果準確有效并且適應性強。
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