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檢測半導體設備的靜電釋放針腳失效的方法及半導體設備

845   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:33
本發明提供了一種檢測半導體設備的靜電釋放針腳失效的方法及半導體設備。半導體設備包括晶圓載盤、靜電釋放引腳、探針和電阻檢測器。所述晶圓載盤用于承載晶圓。所述靜電釋放針腳設置在所述晶圓載盤邊緣，靜電釋放針腳構造為在第一狀態和第二狀態間運動，在所述第一狀態時觸碰所述晶圓，在所述第二狀態時離開所述晶圓。所述探針設置在所述晶圓載盤邊緣，且適于接觸處于所述第二狀態的靜電釋放針腳。所述電阻檢測器，耦接所述探針和電位參考點，以檢測所述靜電釋放針腳的電阻值。
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