本申請提供了一種高電阻結構的原位溫度檢測裝置、芯片和失效檢測方法。該高電阻結構的原位溫度檢測裝置包括:二極管,具有正極端子和負極端子;金屬導線,與二極管的負極端子相連接。二極管控制電流的走向,金屬導線用來感應高電阻結構輻射出的熱量,利用金屬導線的溫度與電阻之間的特定關系,即金屬導線的電阻值與電阻溫度系數的乘積為常數,即可通過本申請的原位溫度檢測裝置來檢測高電阻結構的產生焦耳熱后的溫度值,進而得到準確的失效檢測結果。
聲明:
“高電阻結構的原位溫度檢測裝置、芯片和失效檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)