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半導體器件中失效分析的結構和方法

1223   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:30
本發明公開了一種半導體失效分析的分析結構和方法。所述結構包括:多個分析場,設置于半導體器件的預定的區域上;半導體晶體管,設置于每個所述分析場中,所述半導體晶體管設置為陣列;字線,設置于所述多個分析場的每個上,在第一方向將所述半導體晶體管彼此連接;和位線結構,在所述多個分析場的每個上,在第二方向將所述半導體晶體管彼此連接,其中,所述位線結構在所述多個分析場的每個中配置為不同的圖案。
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失效分析
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