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失效分析裝置

1076   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
公開了一種失效分析裝置，包括：置物臺，用于固定待檢測芯片；測試臺，包括光源，用于對所述待檢測芯片進行抓點測試，其中，所述光源產生紅外脈沖激光，所述紅外脈沖激光能穿透所述待檢測芯片的襯底。本申請的失效分析裝置，采用能穿透所述待檢測芯片的襯底的紅外脈沖激光作為光源，提高了正面和背面抓點的準確性，同時提高了存儲層的失效點定位的準確性。
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聲明：
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