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管芯失效分析方法及堆疊封裝芯片失效分析方法

696   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明公開了一種管芯失效分析方法及堆疊封裝芯片失效分析方法，管芯包括襯底以及位于襯底上的器件層，失效分析方法包括：從管芯的背面，即襯底所在面，對管芯中的缺陷進行熱點定位；從管芯的背面，去除襯底以暴露目標線路；以及在管芯的背面進行電測量以獲得缺陷的信息。堆疊封裝芯片包括引線框、堆疊于引線框上的多個管芯、以及覆蓋引線框和多個管芯的封裝料，失效分析方法包括：對堆疊封裝芯片進行電測量以確定故障管芯；若存在未進行失效分析的故障管芯，則重復執行失效分析步驟；失效分析步驟包括：去除引線框、封裝料的一部分和/或管芯，直至暴露出首個未進行失效分析的故障管芯的襯底；采用管芯失效分析方法對故障管芯進行失效分析。
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