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靜態存儲器的在線失效分析方法及在線電子束檢測設備

1098   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明提供了一種靜態存儲器的在線失效分析方法和在線電子束檢測設備，包括：將不同類型的探針安裝到在線電子束檢測設備的腔體中；將晶圓置于在線電子束檢測設備的腔體中；利用在線電子束檢測設備對接觸孔進行掃描并獲得靜態存儲器中接觸孔的圖像信息；根據接觸孔的圖像信息找出產生缺陷的接觸孔；根據產生缺陷的接觸孔的類型來選擇與之相對應的探針；在線電子束檢測設備控制所選擇的探針與相應的產生缺陷的接觸孔相接觸，并進行電性能檢測；根據產生缺陷的接觸孔在靜態存儲器單元中的功能，在線電子束檢測設備將探針進行組合來檢測功能并進行失效分析；檢測到功能失效，則產生缺陷的接觸孔是導致靜態存儲器失效的原因。
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聲明：
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