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p型透明導電薄膜介電函數和電子關聯度的獲取方法

790   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:24
本發明公開了一種p型透明導電薄膜介電函數和電子關聯度的獲取方法，結合模擬橢偏參數和實驗橢偏參數建立第一評價模型，基于聯合色散模型初始化該色散模型參數和膜厚，對橢偏光譜進行評價得到聯合色散模型的最佳擬合參數，進而得到初步介電函數，然后建立包含薄膜電阻率的光學計算值和電學測量值的第二評價模型，得到薄膜的最佳介電函數；最后根據所述最佳介電函數轉換得到光電導率，結合等離子體頻率計算薄膜樣品的歸一化電子關聯度；本發明對薄膜材料的橢偏光譜提出了數值和物理雙重評價體系，無需制備電極，依據測得的有效最佳介電函數，通過光學參量計算即可無損的獲取透明導電薄膜的電子關聯度。
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