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基于微透鏡的三維超分辨率干涉儀

981   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:51
本發明涉及一種基于微透鏡的三維超分辨率干涉儀，包括干涉儀和微透鏡。在干涉儀的物鏡與樣品間加入微透鏡。在工作時將光學顯微鏡的工作平面聚焦到微透鏡的像平面上，調節兩個物鏡的位置從而在微透鏡區域產生干涉條紋，沿光軸掃描參考反射鏡，并用相機記錄下在掃描過程中所產生的包含干涉條紋的圖像并發送至計算機保存、處理構建三維超分辨率圖像。由于本發明在成像時對環境無特殊要求，無需對樣品進行復雜的處理、標記，并且可以實現快速、非侵入、無損的三維超分辨率成像，因此在納米成像領域具有重要的潛在應用，如集成電路(IC)的制造與檢測。
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“基于微透鏡的三維超分辨率干涉儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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