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雙模靜電超聲傳感器

745   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:51
一種雙模靜電超聲傳感器,也稱為雙模電容超聲傳感器。它是由許多子傳感器在同一平面上排列構成的陣列。子傳感器具有典型的膜片-氣隙結構,其振動膜片作為活動電極板,背板作為固定電極板,構成電容器。其特征是子傳感器的振動模片、側壁和背板圍成一個密閉腔體,密閉腔體內填充有氣體。它可以是常規機械加工的,也可以是微加工的。本實用新型可以有效工作在兩個共振頻率,具有兩個工作模式。較之現有的單模式傳感器,雙模靜電超聲傳感器可形成更寬的帶寬,更大的動態范圍,更高的聲發射功率和聲接受靈敏度。這種傳感器可應用于機器人定位、導航,液面位置和涂層厚度測量,無損檢測、水聲和生物醫學超聲成像。
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