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微波探針掃描圖像的后期處理方法

802   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:50
該發明公開了一種微波探針掃描圖像的后期處理方法，涉及微觀物體表面結構無損檢測技術領域。本申請在探針針尖與待測樣品的遠距離的條件下，將掃描得到的待測樣品的模糊圖像反演到清晰圖像。該方法是求解出待測樣品距離遠的模糊圖像與距離近的清晰圖像(同一待測樣品)之間的映射關系，將待測樣品距離遠的模糊圖像代入到該映射關系反演出清晰圖像。該方法的優點是基本不改變電特性分布的同時還能使圖像清晰度得到提高，進一步可以拓展預設定的針尖與樣本距離的合理范圍。本發明可以應用于表面凹凸不平的薄膜、細胞、光刻掩膜板、芯片等表面形貌成像。
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聲明：
“微波探針掃描圖像的后期處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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