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弱熒光成像條件下的熔石英亞表面缺陷高分辨成像方法

807   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:48
本發明公開了一種弱熒光成像條件下的熔石英亞表面缺陷高分辨成像方法，包括構建一缺陷檢測裝置；連續激光束60°?70°入射到樣品表面，在離軸照明模式下，使樣品的表面及亞表面缺陷在EMCCD中清晰成像。本發明針對樣品亞表面的缺陷具有極低的熒光量子產額及傳統成像CCD無法響應弱熒光的問題，確定其熒光缺陷的激發光譜以及發射光譜特性，在此基礎上選擇合適的激發波長光源及探測器，采用離軸照明模式，克服了同軸照明方式下雜散光嚴重干擾目標弱熒光信號，無法高分辨成像的問題；結合所測樣品的透反率、菲涅爾反射、激光能量等因素，確定了最佳的入射角度，本發明可實現對熔石英光學元件快速、無損、高分辨、大面積成像檢測。
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聲明：
“弱熒光成像條件下的熔石英亞表面缺陷高分辨成像方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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