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精準推進探針的方法

983   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:43
本發明提供一種精準推進探針的方法，該方法能夠對薄膜進行無損測量，尤其適用于半導體半導體薄膜，具體地，利用感應收縮簧的感應端超出導電彈性針頭的一定距離進行測距，并根據測距結果控制推進速度和時間，且能夠監測到探針與納米級厚度薄膜的接觸應力大小。該探針方法適合對半導體半導體薄膜進行無損、穩定、可重復的準確檢測，同時也適合推廣到其它薄膜材料的電學檢測。
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“精準推進探針的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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